凈化車間等級(jí)評(píng)定方法:檢測(cè)區(qū)域內(nèi)塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、落菌數(shù)及自凈換氣數(shù)來(lái)衡量?jī)艋?jí)別,目前凈化車間等級(jí)分為:1級(jí)、10級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)這7個(gè)等級(jí)。各等級(jí)的具體參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)如下:
1、1級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
大或等于0.1um的粒子數(shù)不得超過(guò)1000個(gè),大或等于0.2um的粒子數(shù)不得超過(guò)237個(gè),大或等于0.3um的粒子數(shù)不得超過(guò)102個(gè),大或等于0.5um的粒子數(shù)不得超過(guò)35個(gè),大或等于1.0um的粒子數(shù)不得超過(guò)8個(gè)。
2、10級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
10級(jí)在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。
3、百級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
潔凈度:粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不能大于100個(gè)。
壓差及溫濕度:溫度22℃±2;
濕度55%±5;
根柢需求滿布ffu,做高架地板。
做MAU+ffu+DC體系。
還有堅(jiān)持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
4、千級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
大或等于0.1um的粒子數(shù)不得超過(guò)1000個(gè),大或等于0.2um的粒子數(shù)不得超過(guò)237個(gè),大或等于0.3um的粒子數(shù)不得超過(guò)102個(gè),大或等于0.5um的粒子數(shù)不得超過(guò)35個(gè),大或等于1.0um的粒子數(shù)不得超過(guò)8個(gè)
① 溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對(duì)濕度為55+5%。
② 新風(fēng)量:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
③ 送風(fēng)量:要滿足無(wú)塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。
5、萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
1.塵粒最大允許數(shù)(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)350000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)2000個(gè);
3.微生物最大允許數(shù);
4.浮游菌數(shù)不得超過(guò)100個(gè)每立方米;
5.沉隆菌數(shù)不得超過(guò)3個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。
萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。
6、十萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
塵粒最大允許數(shù)大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)350000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)2000個(gè)。
換氣次數(shù):十萬(wàn)級(jí)10-15次/小時(shí)。
壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa。
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相對(duì)濕度:45-65%(RH);
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
7、三十萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
每立方米大于或等于0.5μm的塵粒最多不能超過(guò)10,500,000個(gè);每立方米大于或等于5μm的塵粒最多不能超過(guò)60,000個(gè);每立方米浮游菌數(shù)量最多不能超過(guò)1000個(gè)。
換氣次數(shù):每小時(shí)換氣次數(shù)不能小于12次。
壓差:不同潔凈級(jí)別潔凈室(區(qū))之間,靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區(qū))與室外,靜壓差大于或等于10PA。
溫度:18~28℃;
相對(duì)濕度:45~65%(RH);
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
附表:
A: 在集成電路制造領(lǐng)域,潔凈車間的環(huán)境參數(shù)控制堪稱生產(chǎn)高質(zhì)量芯片的關(guān)鍵所在,而溫度控制更是重中之重。哪怕是極…
A: 制藥車間的潔凈裝修對(duì)于藥品質(zhì)量和生產(chǎn)安全有著至關(guān)重要的作用,勤哲凈化憑借專業(yè)能力為其打造高質(zhì)量設(shè)計(jì)方案。…
A: 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,凈化車間的平面布局至關(guān)重要,它直接關(guān)系到生產(chǎn)效率、產(chǎn)品質(zhì)量以及企業(yè)的運(yùn)營(yíng)成本。而勤哲凈…
A: 近期有很想要做無(wú)塵車間裝修的用戶來(lái)找勤哲咨詢無(wú)塵車間裝修中特別注意哪些問(wèn)題?今天上海潔凈…